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簡(jiǎn)單介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC12562-04
詳情介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC12562-04
應(yīng)用：高速測(cè)量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。（測(cè)量范圍：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）
Optical NanoGauge 膜厚測(cè)量系統(tǒng) C12562 是一款緊湊、節(jié)省空間的非接觸式薄膜膜厚測(cè)量系統(tǒng)，可根據(jù)需要輕松安裝在設(shè)備中。在半導(dǎo)體行業(yè)，因?yàn)楣璐┛准夹g(shù)的流行，硅厚度的測(cè)量至關(guān)重要；在薄膜生產(chǎn)行業(yè)，粘合層薄膜越來(lái)越薄，以滿(mǎn)足產(chǎn)品規(guī)格。因此，這些行業(yè)現(xiàn)在需要更高的厚度測(cè)量精度，測(cè)量范圍從 1 μm 到 300 μm。C12562 允許在 500 nm 至 300 μm 的寬厚度范圍內(nèi)進(jìn)行**測(cè)量，包括薄膜涂層和薄膜基板厚度以及總厚度。C12562 還提供高達(dá) 100 Hz 的快速測(cè)量，是高速生產(chǎn)線測(cè)量的理想選擇。
特點(diǎn)
- 可測(cè)量從薄膜厚度到總厚度的整個(gè)范圍
- 縮短周期時(shí)間（*高 100 Hz）
- 增強(qiáng)型外部觸發(fā)器（適用于高速測(cè)量）
- 軟件中添加了簡(jiǎn)化的測(cè)量
- 能夠同時(shí)進(jìn)行表面分析
- **測(cè)量起伏不定的薄膜
- 分析光學(xué)常數(shù)（n、k）
- 提供外部控制
詳細(xì)參數(shù)
*1 當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
*2 測(cè)量 1 μm 厚玻璃膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差（容差）。
*3 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
*4 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。
*5 *短曝光時(shí)間。
*2 測(cè)量 1 μm 厚玻璃膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差（容差）。
*3 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
*4 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。
*5 *短曝光時(shí)間。
尺寸
